淄博雇主责任险公司2024年12月12日消息,国家知识产权局信息显示,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司取得一项名为“一种晶圆花篮定位结构”的专利,授权公告号 CN 222126479 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型实施例公开了一种晶圆花篮定位结构,包括:底板、定位机构、升降机构和夹紧机构;定位机构包括第一定位组件和第二定位组件,升降机构和第一定位组件相连,升降机构带动第一定位组件在预设方向往复移动,第二定位组件设置在底板上,第一定位组件和第二定位组件配合以实现晶圆花篮的一次定位;夹紧机构设置在第一定位组件朝向底板的一侧,夹紧机构用于实现晶圆花篮的二次定位。通过本实用新型实施例,可以使得晶圆花篮进入干燥槽后实现精准定位,从而减少晶圆在脱离晶圆花篮过程中产生碎片。
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